掩膜板的制作方法
2020-07-11
掩膜板的制作方法，一方面能夠提高蒸鍍開孔的尺寸精度，一方面使蒸鍍開孔具有設計需要的斜錐角，減少對蒸鍍材料的遮擋，提高蒸鍍效率，使掩膜板更符合制程要求。
先采用電鑄工藝或物理氣相沉積工藝制作出初始掩膜板，該初始掩膜板具有多個呈陣列式排布的、開口尺寸等于蒸鍍所需的設計開孔尺寸的直孔通孔;再采用化學刻蝕工藝，對初始掩膜板的下表面及直孔通孔的內壁進行刻蝕，形成具有斜錐角的曲線形凹槽，該曲線形凹槽的開口尺寸自下而上逐漸減小至蒸鍍所需的設計開孔尺寸，從而制作出掩膜板。
步驟如下:
步驟1、提供一金屬基板，在所述金屬基板上涂覆一層光刻膠;
步驟2、對所述光刻膠進行曝光、顯影，形成光刻膠圖案; 包括多個呈陣列式排布的、相互間隔的直孔，每相鄰兩個直孔之間的間隔尺寸等于蒸鍍所需的開孔設計尺寸;
步驟3、采用電鑄工藝或物理氣相沉積工藝在所述金屬基板上于光刻膠圖案的直孔內沉積一層掩膜材料;
步驟4、去除金屬基板和光刻膠圖案，得到初始掩膜板; 所述初始掩膜板具有多個呈陣列式排布的、開口尺寸等于蒸鍍所需的設計開孔尺寸的直孔通孔、及位于每相鄰兩個直孔通孔之間的擋墻;
步驟5、在初始掩膜板的上、下表面分別形成上光致刻蝕層圖案、下光致刻蝕層圖案; 所述上光致刻蝕層圖案完全覆蓋所述擋墻的上表面，所述下光致刻蝕層圖案僅覆蓋所述擋墻的下表面的中間部分;
步驟6、采用化學刻蝕工藝對初始掩膜板的下表面及直孔通孔的內壁進行刻蝕，形成具有斜錐角的曲線形凹槽; 該曲線形凹槽的開口尺寸自下而上逐漸減小至蒸鍍所需的設計開孔尺寸;
步驟7、去除所述上、下光致刻蝕層圖案，得到掩膜板。
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